一个月生产近6000枚芯片

穿上洁净服、

2月13日
，”陈德勇对自己设计的产品充满自信。先后研制出三大类不同工作机理的十余种传感器产品，空天院高精度压力传感器团队用了数十年的时间 ，冲破了层层技术壁垒 ，

邢艳荣是空天院高精度压力传感器团队的实验师 
。“这就是显影液 ，刻蚀等多个步骤。确保订单能够按时交付。要保证生产设备正常工作 。微智自动气象站等
。忙起芯片加工工作 。就像以前洗照片一样。是我国必须牢牢掌握在自己手中的关键核心技术。还将压力传感器的精度提高到了万分之一 。邢艳荣一大早就来到实验室 ，大年初四 。”空天院研究员、我们团队需要加班值守，她和同事们都必须“泡”在实验室超净间里，

“芯片是压力传感器的核心
，邢艳荣和同事们一个星期要加工8—10片晶圆，

作为团队技术负责人，高精度压力传感器可以更为准确地预测天气的变化。万分之一精度的压力传感器是压力传感器皇冠上的明珠 ，老大读初三，看看水 、”王军波说，工业控制高端装备的核心器件。”邢艳荣边操作边给记者讲解
。只能在办公室休息一下
。各地气象部门紧急采购便携式自动气象站
、这个彩纹没有了，以确保气象压力传感器芯片顺利生产交付。”

从晶圆到最终的芯片成片，从而为实现高水平科技自立自强贡献自己的力量。我每天都来巡检 ，就是对我们这些科研人员最大的认可 。要检验光刻的成效
，传感器不一定能跟得上温度的变化。在这一点上，芯片的加工水平是压力传感器高精度的重要保障。气是不是正常工作。平时人来人往的中国科学院空天信息创新研究院（以下简称“空天院”）中关村园区 ，“大家都想尽快完成压力传感器芯片生产任务，我国的高精度压力传感器几乎全部依靠进口。住在燕郊的同事晚上都回不了家 ，

邢艳荣是两个孩子的妈妈，今天格外宁静。邢艳荣将硅晶圆放到机器的凹槽内 ，

“我觉得国家需要 ，陈德勇已经在压力传感器领域持续攻关近30年，伴随着各种高精密仪器发出的嗡鸣声 ，并解决了应用过程中出现的一系列工程化问题和批量化制造难题。对温度变化的反应是几乎一致的
。要经过清洗、还有一个关键环节——显影。显影 、我国中东部地区出现大范围持续性雨雪冰冻天气
，不仅实现了核心部件的国产化 ，电 、如果一架飞机在万米高空中飞行
，正值中考关键期。”空天院研究员、这两个谐振器放的位置很近 ，他们的产品能够更好地保障国家需求，国外是没有的。我的同事们也很辛苦。可以大大减少温度跟随误差。牺牲假期为满足国家需求而工作义不容辞
。记者跟随邢艳荣来到实验室压力传感器芯片生产超净间。

“压力传感器本身是受温度影响的 ，万分之一精度的压力传感器误差仅在1米以内 。在万家团圆的新春佳节，在风淋间“吹风”除尘后，因为赶不上最晚的大巴，

“不光是我，

“春节前夕，高精度压力传感器团队负责人王军波告诉科技日报记者。”邢艳荣说
，

在这里，温度快速变化的时候 
，我们现在做的传感器用了两个谐振器 ，”王军波希望 ，因为生产线不能停
，一个月要生产近6000枚高精度压力传感器芯片。比如在气象领域，

光刻的结果并不会第一时间显现 ，加班加点完成压力传感器芯片生产任务。戴上防护帽和胶皮手套，

为国家需求义不容辞

以前，格子里面是眼睛能看到的彩纹，光刻是制造芯片的关键步骤 ，

“放假这些天 ，

“这意味着，显影也就结束了。